特許
J-GLOBAL ID：200903073981705770

固体撮像装置およびその製造方法

発明者：
川野 裕行

川野 裕行 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-350153
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116841
出願日： 2003年10月08日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】受光部とマイクロレンズとの位置的なずれを防いで、マイクロレンズによる受光部への集光効率を向上させる。【解決手段】半導体基板上に複数のフォトダイオード1と、フォトダイオード1からの電荷を転送する電荷転送部2とが設けられた固体撮像装置において、遮光膜3の開口部3b(受光部)を形成し、マイクロレンズ7Aまたは7Bの下地である層間膜5Bまたは8の凹部形成のために同一のフォトレジストパターン6を用いる。遮光膜3および層間膜5を連続して積層し、フォトレジストパターン6を用いて遮光膜3の開口部3bを形成すると共に層間膜5を加工し、層間膜5Aまたは8を流動させて、断面が半円形状の凹部を形成する。凹部内を埋め込むようにマイクロレンズ7Aまたは7Bの透明材料を堆積し、断面が半円形状の凸型マイクロレンズ7Aまたは7Bを遮光膜3の開口部3b(受光部)に対応させて形成する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
基板上に、複数の受光部と、該複数の受光部からの電荷をそれぞれ転送する各電荷転送部とが設けられ、該受光部および電荷転送部上を覆う遮光膜に、該受光部が開口された開口部が、該遮光膜上の層間膜のホールと共に形成され、該層間膜のホールを用いて形成された断面曲面状の凹部内に凸型マイクロレンズが該遮光膜の開口部に対向するように配置されている固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L27/14 ,  G02B3/00 ,  H04N5/335
FI (3件)：
H01L27/14 D ,  G02B3/00 A ,  H04N5/335 U
Fターム (13件)：
4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118CA02 ,  4M118EA06 ,  4M118EA20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD20 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024CY49 ,  5C024EX43 ,  5C024GX01
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM