基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152907
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345854
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】フットプリントを最小限に抑えるとともに、各処理部間を搬送する際の制御機構を簡単にし、かつ、外部装置と直接インライン化できること。【解決手段】 X軸に沿って処理部30,40,50が隣接して設けられるとともに、処理部30のX方向側に隣接して基板載置部20が設けられる。処理部30,40,50では、この順で基板Wに対する処理を行う順次に行う。基板載置部20から処理部30への搬送と、処理部30から処理部40への搬送と、処理部40から処理部50への搬送とは、X方向に移動可能なシャトル搬送ロボット60によって同時に行われる。また、処理部30,40,50の配列方向と平行に搬送ロボット10が移動する搬送路15が設けられ、搬送路15に沿って基板収納部7が設けられる。この構成により、フットプリントを最小限にすることができ、また、基板載置部20を介して外部装置を直接接続することができる。

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、(a) 所定の方向に配置され、基板に所定の処理を行うための複数の処理部と、(b) 前記複数の処理部のうち一端側に配置された処理部に隣接し、かつ、一端側に配置された第1処理部に基板を搬送する際に、一旦基板を載置させる基板載置部と、(c) 前記複数の処理部が配置されている方向と平行に配置され、かつ、基板を収納する収納器を配置するための基板収納部と、(d) 前記複数の処理部および前記基板載置部と、前記基板収納部との間に配置され、基板を搬送するための搬送路と、(e) 前記搬送路に沿って移動可能であり、前記基板収納部に配置された収納器と、前記基板載置部と、前記複数の処理部のうち前記一端側とは異なる他端側に配置された第2処理部との間で基板の搬送を行う第1搬送機構と、(f) 前記複数の処理部のうち隣接する処理部間で基板を搬送するための複数の基板保持部を有し、前記複数の基板保持部の動作を各々同期させて隣接する処理部間での基板の搬送を行う第2搬送機構と、を備えることを特徴とする基板処理装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-209737
特開平1-316147
2層テーブルを有する搬出入装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-342775 出願人：株式会社ディスコエンジニアリングサービス

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