特許
J-GLOBAL ID：200903074006339165
XY位置決め装置及び電子部品搭載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-372716
公開番号（公開出願番号）：特開2003-174287
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 高い精度で移動体を位置決めするXY位置決め装置と、電子部品を基板へ高い精度で搭載する電子部品搭載装置とを提供する。【解決手段】 X軸フレーム11を一方向に移動自在に支持するY軸フレーム21に備えられるY軸ガイド23及びスケール部材91を同一平面上に設置する。これにより、X軸フレーム11を案内するY軸ガイド23と、X軸フレーム11の位置情報を与えるメモリを備えたスケール部材91とを高い精度で、互いに平行に方向決めすることができる。よって、XY位置決め装置によるヘッドユニット(移動体)4の位置決め精度を向上させることができる。X軸フレーム11にスケール部材91と対向して備えられ、スケール部材91に備えられた目盛を読み取るセンサ部92には、スケール部材91に付着した塵芥を除去するためのワイパー92aを設置する。
請求項（抜粋）：
互いに間隔を開けてY軸方向に沿って延在する一対のY軸フレームと、前記Y軸方向と直交するX軸方向に沿って延在するとともに、両端部をY軸フレームに支持された状態で、Y軸方向に沿って移動自在なX軸フレームと、該X軸フレームにX軸方向に移動自在に支持された移動体と、前記X軸フレームの前記Y軸方向の位置を検知するY方向位置検知手段と、を備えるXY位置決め装置であって、前記Y軸フレームが前記X軸フレームを案内する案内部材を備えるとともに、前記Y方向位置検知手段は、前記Y軸フレームの前記案内部材が備えられた平面と同一の平面上に、前記案内部材に対して平行に設けられるとともに、前記X軸フレームの位置情報を与えるための目盛を備えたスケール部材と、前記スケール部材と対向する形態で、前記X軸フレームに設けられるとともに、前記目盛を読み取るセンサ部とを備えることを特徴とするXY位置決め装置。
Fターム (3件)：
5E313EE01
, 5E313EE24
, 5E313FF05
