静電チャック及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-171601
公開番号（公開出願番号）：特開平8-019982
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】静電チャックの誘電体の材質を従来のアルミナセラミックスに代えて、誘電率の高いセラミックスを使うことにより、吸着力の強い静電チャックを提供し、さらにその製造方法も提供すること。【構成】誘電体層、電極層、及び基盤層の3層よりなり、誘電体層には誘電率の高いTiO2を用い、また電極層にはAg等の金属の代わりに誘電体層および基盤層の材質と同じセラミックスを用いる。

請求項（抜粋）：

上層に誘電体、中層に電極、下層に基盤から成る静電チャックにおいて、該誘電体が体積抵抗率で1010Ω・cmを越えるTiO2(酸化チタン)であり、該電極が大気中で焼成できるAg系の導体であることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

B25J 15/06 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (8件)

特公昭60-059104
特開昭61-260949
特開平2-206147

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