クリーン搬送台車

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-039162
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230298
出願日： 2000年02月17日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】ワークの収納室にPFUを通して外気よりも1ランク清浄度を向上させた清浄空気を送り込むことで、比較的簡素な機構で良好なクリーン度を保ったままワークを工程間搬送できるようにする。【解決手段】台車1にワークの収納室20を設け、底面がメッシュ構造とした収納室20の上部にモーター付きフィルターユニット30を設け、該モーター付きフィルターユニット30の駆動電源となる充電池11を前記台車1に設け、前記収納室20の一側面の開口に開閉用のドア22を取り付けるとともに、前記モーター付きフィルターユニット30により前記収納室20に清浄空気が送り込まれるようにしている。

請求項（抜粋）：

台車にワークの収納室を設け、該収納室の上部にモーター付きフィルターユニットを設け、該モーター付きフィルターユニットの駆動電源となる充電池を前記台車に設け、前記収納室の一側面の開口に気密開閉扉を取り付けるとともに、前記モーター付きフィルターユニットにより前記収納室に清浄空気が送り込まれるようにしたことを特徴とするクリーン搬送台車。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B62B 3/00 , B65G 49/00 , F24F 7/06

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/00 A , F24F 7/06 C , B62B 3/00 D

Fターム (10件)：

3D050AA11 , 3D050BB04 , 3D050DD03 , 3D050EE15 , 3D050KK09 , 3L058BF08 , 5F031DA17 , 5F031GA57 , 5F031NA02 , 5F031NA16

引用特許：

審査官引用 (5件)

手押し台車
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-060124 出願人：神鋼電機株式会社
ウエハの搬送台車
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-323148 出願人：株式会社多賀製作所
多方向性スクリーン吹出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-062079 出願人：ジャパンルーワ株式会社

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