基板検査装置、基板製造方法及びバンプ付き基板

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅原正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333415
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153909
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】パンプ付き基板等のプリント配線基板における配線ネットの電気抵抗値等を高精度に、かつ汎用性をもって検査する基板検査装置を提供し、その検査装置を用いることによる正確な配線ネットを有する高品質な基板製品、及びその基板の製造方法を提供する。【解決手段】抵抗値検査装置1は、基板本体14の裏面には複数の第一端子部が2次元的に配列・形成され、基板表面にその第一端子部に対応する第二端子部としての半田バンプ6が二次元的に配列・形成されて備えられる。そして、一測定プローブ群13を第一端子部群に当接させ、また、測定対象となる配線ネットに対応した第二端子部に選択的かつ着脱可能に第二測定プローブ42を当接させる。その状態にて配線ネットに測定用電流を通電しつつ、測定される配線ネットへの印加電圧レベルに基づいて、当該配線ネットの所謂四端子法等の抵抗測定が可能となるため、接触抵抗の影響を除外できることとなり、配線ネットの固有電気抵抗値を正確に把握でき、ひいては異常を生じた配線ネットを的確に識別することができる。

請求項（抜粋）：

基板本体の一方の板面上に複数の第一端子部が二次元的に配列・形成され、他方の板面上に前記第一端子部に対応する複数の第二端子部が二次元的に配列・形成されるとともに、それら第一端子部と第二端子部との互いに対応するもの同士が、ビアを含む配線ネットにより個別に接続された構造を有する基板の検査装置であって、電流通電用プローブ要素と電圧測定用プローブ要素とを有し、それらプローブ要素において前記第一端子部に着脱可能に当接する第一測定プローブが、該第一端子部の二次元的な配列に対応して複数配置された第一測定プローブ群と、電流通電用プローブ要素と電圧測定用プローブ要素とを有し、それらプローブ要素において、複数の前記第二端子部のいずれかに選択的かつ着脱可能に当接する第二測定プローブと、前記第一測定プローブ群を第一端子部群に当接させ、また、測定対象となる配線ネットに対応した前記第二端子部に前記第二測定プローブを当接させ、その状態にて前記電流通電用プローブ要素により前記配線ネットに測定用電流を通電しつつ、前記電圧測定用プローブ要素にて測定される前記配線ネットへの印加電圧レベルに基づいて、当該配線ネットの固有電気抵抗値を反映した情報を生成する固有電気抵抗値情報生成手段と、その生成された固有電気抵抗値情報を、配線ネット毎に個別に定められた参照情報と比較することにより、当該配線ネットの良否に関する検査情報を生成する検査情報生成手段と、を備えたことを特徴とする基板検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/02 , G01R 1/073 , G01R 27/02 , H05K 3/00

FI (4件)：

G01R 31/02 , G01R 1/073 A , G01R 27/02 R , H05K 3/00 T

Fターム (32件)：

2G011AA02 , 2G011AA13 , 2G011AA16 , 2G011AB01 , 2G011AC06 , 2G011AC09 , 2G011AC14 , 2G011AE01 , 2G011AF07 , 2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AA13 , 2G014AA15 , 2G014AB59 , 2G014AC09 , 2G014AC10 , 2G014AC12 , 2G014AC15 , 2G028AA01 , 2G028AA02 , 2G028BC01 , 2G028CG02 , 2G028DH03 , 2G028FK01 , 2G028FK08 , 2G028GL07 , 2G028HN08 , 2G028HN11 , 2G028HN13 , 2G028JP03 , 2G028LR02 , 2G028LR07

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-291572
電気回路基板の電気特性検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-161766 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-060471

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