レジスト組成物

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303546
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013679
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】耐衝撃性および耐熱性、並びに電気的絶縁信頼性等を両立させ、さらに作業性に優れた、アルカリ水溶液により現像可能なレジスト組成物の提供。【解決手段】アルカリ可溶性のアクリル系化合物および/またはメタクリル系化合物を主成分とする硬化性組成物に、カルボキシル基を含有する微粒子状架橋弾性重合体および銅に対する密着増強剤を配合してなるレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性のアクリル系化合物および/またはメタクリル系化合物を主成分とする硬化性組成物に、カルボキシル基を含有する微粒子状架橋弾性重合体および銅に対する密着増強剤を配合してなるレジスト組成物。

IPC (16件)：

G03F 7/004 501 , C08F 2/44 , C08F 2/48 , C08F290/12 , C08F290/14 , C08K 5/3475 , C08K 5/521 , C08L 33/06 , C08L 63/10 , C08L101/00 , G03F 7/027 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 501 , G03F 7/085

FI (17件)：

G03F 7/004 501 , C08F 2/44 C , C08F 2/44 B , C08F 2/48 , C08F290/12 , C08F290/14 , C08K 5/3475 , C08K 5/521 , C08L 33/06 , C08L 63/10 , C08L101/00 , G03F 7/027 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , G03F 7/037 501 , G03F 7/038 501 , G03F 7/085

Fターム (105件)：

2H025AA00 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC31 , 2H025BC43 , 2H025BC53 , 2H025BC74 , 2H025BC85 , 2H025CA00 , 2H025CA01 , 2H025CA18 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CC06 , 2H025CC08 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J002AC072 , 4J002BG021 , 4J002BG042 , 4J002BN162 , 4J002CD201 , 4J002EU176 , 4J002EW046 , 4J002FD140 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J011AA05 , 4J011FB18 , 4J011PA43 , 4J011PA46 , 4J011PA54 , 4J011PB06 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011PC09 , 4J011QA03 , 4J011QA05 , 4J011QA08 , 4J011QA09 , 4J011QA11 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA14 , 4J011QA20 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QA27 , 4J011QB02 , 4J011QB16 , 4J011QB19 , 4J011QB22 , 4J011RA19 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA51 , 4J011SA61 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011TA04 , 4J011TA08 , 4J011TA10 , 4J011UA01 , 4J011UA08 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J011XA02 , 4J027AA01 , 4J027AA02 , 4J027AC02 , 4J027AC03 , 4J027AE01 , 4J027AE02 , 4J027AE03 , 4J027AE04 , 4J027AE07 , 4J027AJ08 , 4J027BA02 , 4J027BA04 , 4J027BA05 , 4J027BA07 , 4J027BA13 , 4J027BA18 , 4J027BA20 , 4J027BA22 , 4J027BA23 , 4J027BA24 , 4J027BA29 , 4J027CA08 , 4J027CA25 , 4J027CA27 , 4J027CB03 , 4J027CB10 , 4J027CC02 , 4J027CC04 , 4J027CD10

引用特許：

審査官引用 (8件)

絶縁用樹脂組成物およびこれを用いた多層プリント配線板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-357297 出願人：東亞合成株式会社
光硬化性液状ソルダーレジスト用インキ組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-239526 出願人：株式会社日本触媒
特開平2-033148

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