特許
J-GLOBAL ID:200903074324325840
ドリフト領域とドリフト制御領域とを有する半導体素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-523245
公開番号(公開出願番号):特表2009-503830
出願日: 2006年07月27日
公開日(公表日): 2009年01月29日
要約:
本発明は、半導体基材(100)を有する半導体素子に関し、さらに以下の各特徴として、上記半導体基材(100)内にて、第1の伝導型のドリフト領域(2;211)と、上記半導体基材(100)内にて、上記ドリフト領域(2)に対し、少なくとも部分的に隣り合って配置され、半導体材料からなるドリフト制御領域(3;241)と、上記ドリフト領域(2;211)と上記ドリフト制御領域(3;241)との間に配置された蓄積誘電体(4;251)とを含む。
請求項(抜粋):
半導体基材(100)を有する半導体素子であって、
上記半導体基材(100)内にて、第1の伝導型のドリフト領域(2;211)と、
上記半導体基材(100)内にて、上記ドリフト領域(2)に対し、少なくとも部分的に隣り合って配置され、半導体材料からなるドリフト制御領域(3;241)と、
上記ドリフト領域(2;211)と上記ドリフト制御領域(3;241)との間に配置された蓄積誘電体(4;251)とを含むことを特徴とする半導体素子。
IPC (11件):
H01L 29/78
, H01L 27/04
, H01L 29/786
, H01L 21/823
, H01L 27/088
, H01L 27/06
, H01L 29/47
, H01L 29/872
, H01L 29/739
, H01L 29/06
, H01L 29/80
FI (18件):
H01L29/78 652H
, H01L29/78 653A
, H01L29/78 657D
, H01L29/78 301D
, H01L29/78 616V
, H01L29/78 301V
, H01L29/78 617K
, H01L27/08 102A
, H01L27/06 102A
, H01L29/48 F
, H01L29/78 655D
, H01L29/78 652N
, H01L29/78 652F
, H01L29/06 301D
, H01L29/06 301G
, H01L29/06 301F
, H01L29/06 301M
, H01L29/80 V
Fターム (75件):
4M104AA01
, 4M104AA03
, 4M104AA09
, 4M104BB01
, 4M104BB40
, 4M104CC01
, 4M104CC03
, 4M104CC05
, 4M104DD29
, 4M104DD81
, 4M104FF02
, 4M104GG02
, 4M104GG03
, 4M104GG09
, 4M104GG11
, 4M104GG14
, 4M104GG18
, 5F048AA01
, 5F048AA05
, 5F048AC03
, 5F048AC06
, 5F048AC10
, 5F048BA02
, 5F048BA16
, 5F048BB01
, 5F048BB05
, 5F048BB20
, 5F048BC01
, 5F048BC02
, 5F048BC03
, 5F048BC05
, 5F048BC12
, 5F048BD01
, 5F048BD07
, 5F048BE09
, 5F048BF16
, 5F048BF18
, 5F102GA14
, 5F102GA17
, 5F102GB04
, 5F102GC07
, 5F102GC08
, 5F102GD04
, 5F102GJ03
, 5F102GL03
, 5F102GR07
, 5F102GR09
, 5F102GR12
, 5F110AA07
, 5F110BB12
, 5F110CC02
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110EE22
, 5F110GG02
, 5F110GG12
, 5F110GG22
, 5F110HM02
, 5F110HM12
, 5F140AA30
, 5F140AB01
, 5F140AC19
, 5F140AC21
, 5F140AC22
, 5F140AC23
, 5F140AC36
, 5F140BA01
, 5F140BB05
, 5F140BF01
, 5F140BF04
, 5F140BF05
, 5F140BF43
, 5F140BH30
, 5F140BH41
, 5F140BH45
引用特許:
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