特許

J-GLOBAL ID：200903074331968136

金属試料表面の外観検査方法および外観検査装置

発明者： 西田 真史 ,  添田 正彦 ,  林 謙太
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195238
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023489
出願日： 1997年07月07日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 リードフレーム等の加工品(金属試料)の表面部のキズ欠陥等を検出する外観検方法において、擬似欠陥と致命的欠陥とを、人が容易に判断できる外観検査方法を提供する。同時に、そのような検査方法ができる外観検査装置を提供する。【解決手段】 金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、且つ、撮影により得られた、各仰角の画像データにそれぞれRGB3色の1色を割当てて、RGBカラー画像を合成し、合成された画像のR、G、Bの色合いから欠陥、擬似欠陥の判別を行う。

請求項（抜粋）：

金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、且つ、撮影により得られた、各仰角の画像データにそれぞれRGB3色の1色を割当てて、RGBカラー画像を合成し、合成された画像のR、G、Bの色合いから欠陥、擬似欠陥の判別を行うことを特徴とする金属試料表面の外観検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/89 ,  C23F 1/00 ,  G01N 21/84 ,  H01L 23/48

FI (4件)：

G01N 21/89 B ,  C23F 1/00 ,  G01N 21/84 E ,  H01L 23/48

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-151606   出願人：オムロン株式会社
• プリント回路基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-053354   出願人：コントロールオートメイションインコーポレイテッド
• 特開平3-105239
  
• 球体外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-107242   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平4-055742