特許
J-GLOBAL ID:200903074411524832

火炎センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北村 修一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-351692
公開番号(公開出願番号):特開2000-183367
出願日: 1998年12月10日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】 火炎から発する光に特徴的な特徴領域の微弱な光を感度よく検出することができるようにして、火炎の検出性能を更に向上させながら、耐久性を向上させる。【解決手段】 火炎から発する光をAl-Ga-N系の半導体材料で構成される受光素子を用いて検出するように構成された火炎センサにおいて、受光素子PSにおける入光側に、紫外線領域の光の反射を防止する反射防止膜が備えられ、その反射防止膜を備えた受光素子PSが、外部に対して気密状に封止する封止部材C内に設けられている。又、封止部材Cが気密状の容器Bにて構成され、容器B内に不活性ガスが充填されている。
請求項(抜粋):
火炎から発する光をAl-Ga-N系の半導体材料で構成される受光素子を用いて検出するように構成された火炎センサであって、前記受光素子における入光側に、紫外線領域の光の反射を防止する反射防止膜が備えられ、その反射防止膜を備えた受光素子が、外部に対して気密状に封止する封止部材内に設けられている火炎センサ。
IPC (3件):
H01L 31/02 ,  G01J 1/02 ,  H01L 27/14
FI (4件):
H01L 31/02 B ,  G01J 1/02 J ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 K
Fターム (39件):
2G065AA15 ,  2G065AB05 ,  2G065AB19 ,  2G065BA02 ,  2G065BA36 ,  2G065BA37 ,  2G065BA38 ,  2G065CA05 ,  2G065DA06 ,  4M118AA01 ,  4M118AA08 ,  4M118AB10 ,  4M118CA03 ,  4M118CA05 ,  4M118CA34 ,  4M118CB01 ,  4M118EA01 ,  4M118GA10 ,  5F088AA02 ,  5F088AA03 ,  5F088AA05 ,  5F088AB07 ,  5F088AB16 ,  5F088AB17 ,  5F088BB10 ,  5F088CB04 ,  5F088CB11 ,  5F088CB17 ,  5F088DA01 ,  5F088DA14 ,  5F088FA05 ,  5F088FA12 ,  5F088GA02 ,  5F088HA03 ,  5F088JA03 ,  5F088JA07 ,  5F088JA10 ,  5F088JA20 ,  5F088LA05
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 火炎センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-034603   出願人:大阪瓦斯株式会社
  • 半導体装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-143206   出願人:日産自動車株式会社
  • 光半導体装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-153121   出願人:株式会社東芝
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