磁気ヘッドスライダおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-301721
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326406
出願日： 1997年11月04日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】耐久性、耐摩耗性に優れた磁気ヘッドスライダを提供する。【解決手段】磁気ヘッドスライダのディスク対向面に中間層を介して、DLC保護層を形成する。DLC保護層は炭化水素系ガスに加えてArを添加してプラズマCVD法で形成することで弾性率が高く、耐摩耗性に優れたDLC保護層を形成できる。

請求項（抜粋）：

ディスクと対向する面にダイアモンドライクカーボン膜が形成されている磁気ヘッドスライダであって、前記ダイアモンドライクカーボン膜中にArが含まれていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。

IPC (2件)：

G11B 5/60 , G11B 21/21 101

FI (2件)：

G11B 5/60 C , G11B 21/21 101 K

引用特許：

審査官引用 (8件)

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