特許

J-GLOBAL ID：200903074478518071

紫外域用ミラー及びそれを有する露光装置

発明者： 伊藤 哲蔵
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-021912
公開番号（公開出願番号）：特開2006-210715
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】 真空紫外域において発振するレーザー光に対して十分な耐久性と、好ましくは、更に、入射角度特性、偏光特性、反射位相特性を有する紫外光用ミラー及びそれを有する露光装置を提供する。【解決手段】 基板と、基板上に形成されたアルミニウム層と、前記アルミニウム層上に形成された誘電体層とを備え、波長130nm乃至260nmを有するレーザー光に使用されるミラーであって、前記アルミニウム層と前記誘電体層との間に光学膜厚3.7nm以上の厚さを有する酸化アルミニウム層を有することを特徴とする紫外光用ミラーを提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、基板上に形成されたアルミニウム層と、前記アルミニウム層上に形成された誘電体層とを備え、波長130nm乃至260nmを有するレーザー光に使用されるミラーであって、 前記アルミニウム層と前記誘電体層との間に酸化アルミニウム層を有し、前記酸化アルミニウム層の厚さは、使用波長に対する屈折率をn、物理膜厚をdとしたとき光学膜厚ndが3.7nm以上であることを特徴とする紫外光用ミラー。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/08

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G02B5/08 A ,  G02B5/08 C

Fターム (13件)：

2H042AA02 ,  2H042AA25 ,  2H042AA32 ,  2H042DA02 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA14 ,  2H042DC02 ,  2H042DE07 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 紫外域用反射ミラー装置及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-051211   出願人：株式会社ニコン
• 紫外光用ミラー、それを用いた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-197981   出願人：株式会社ニコン
• 特許第3478819号公報