特許
J-GLOBAL ID：200903074502505407
導波路型半導体受光装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334298
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153638
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【目的】 入射端の幅を広げても導波路での損失が生じないようにする。導波路と受光素子との結合効率を向上させる。【構成】 半導体基板101上に、光入射側からPD部に向かって幅が連続的に減少するテーパ導波路102と、このテーパ導波路と光学的に結合された受光素子103とが集積化される。テーパ導波路102は、第1クラッド層104、コア層105、第2クラッド層105により構成されるが、テーパ導波路102の幅は受光素子103に向かって徐々に狭くなると共にその膜厚が連続的に厚くなり、かつ、コア層105の屈折率が受光素子側に向かって連続的に高くなっている。コア層105をPD部にまで引き延ばし、PD部でのバンドギャップ波長を信号光の波長以上となるようにして、コア層の延長部を受光素子103の光吸収層とすることができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に、受動導波路とこれにより導波された信号光を受光する受光素子とが集積化されている導波路型半導体受光装置において、受動導波路の導波層は、光入射側から受光素子側に向かって幅が漸減し厚さが漸増するとともに屈折率が漸増していることを特徴とする導波路型半導体受光装置。
引用特許：
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