タッチパネル用酸化亜鉛系透明導電膜付き基板

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-295891
公開番号（公開出願番号）：特開2007-109406
出願日： 2005年10月11日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】タッチパネル用基板の透明導電膜として、酸化亜鉛系透明導電膜を用い、透過率が高く、耐久性があり、表面抵抗率がタッチパネルを得るのに好適な抵抗値を併せ有する透明導電膜付き基板を提供する。【解決手段】透明基板に、主成分である酸化亜鉛に対し、ガリウムをGa2O3換算で1〜11重量パーセントの割合で含有した、酸化亜鉛系透明導電膜を成膜したタッチパネル用基板であって、表面抵抗が200〜1000Ω/□、かつ所定の耐久性を満足することを特徴とするタッチパネル用基板

請求項（抜粋）：

主成分である酸化亜鉛に対し、ガリウムをGa2O3換算で1〜15重量パーセントの割合で含有することを特徴とする酸化亜鉛系透明導電膜。

IPC (4件)：

H01B 1/08 , H01B 5/14 , C23C 14/08 , G06F 3/041

FI (4件)：

H01B1/08 , H01B5/14 A , C23C14/08 C , G06F3/041 330H

Fターム (15件)：

4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA49 , 4K029BC09 , 4K029CA04 , 4K029DB05 , 5B087AA03 , 5B087CC37 , 5G301CA02 , 5G301CA27 , 5G301CA30 , 5G301CD03 , 5G307FB01 , 5G307FC02 , 5G307FC09

引用特許：

審査官引用 (4件)

透明電導膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-172735 出願人：旭硝子株式会社
透明導電膜および該透明導電膜を用いた透明基体
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-039968 出願人：旭硝子株式会社
特開平2-181304

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