特許
J-GLOBAL ID：200903074529322053

極低温冷却システム

発明者：
田中 弘之

田中 弘之 について

, 
福田 祐三

福田 祐三 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-252323
公開番号（公開出願番号）：特開2008-075893
出願日： 2006年09月19日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】極低温冷却システムにおいて、極低温冷凍機の動作信頼性を確保しつつ、冷媒の輸送経路における熱侵人の抑制、コストの低減及び取り扱い性の向上を図ること。【解決手段】極低温冷却システム100は、極低温冷凍機31で冷媒を極低温に冷却して供給する冷媒供給装置3と、マグネットによる強磁場内にあって冷媒供給装置3から供給された極低温の冷媒で冷却される被冷却体1と、極低温冷凍機31からプローブ本体1へ冷媒を流す冷媒配管36cを内蔵したトランスファーチューブ20とを備える。トランスファーチューブ20は、被冷却体側に配置された可撓性を有する細いトランスファーチューブ21と、極低温冷凍機側に配置された太いトランスファーチューブ22とを備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
極低温冷凍機で冷媒を極低温に冷却して供給する冷媒供給装置と、マグネットによる強磁場内にあって前記冷媒供給装置から供給された極低温の冷媒で冷却される被冷却体と、前記極低温冷凍機から前記被冷却体へ冷媒を流す冷媒配管を内蔵したトランスファーチューブとを備える極低温冷却システムにおいて、 前記トランスファーチューブは、被冷却体側に配置された可撓性を有する細いトランスファーチューブと、極低温冷凍機側に配置された太いトランスファーチューブとを備えている ことを特徴とする極低温冷却システム。
IPC (4件)：
F25B 9/00 ,  G01R 33/381 ,  H01L 39/04 ,  G01R 33/32
FI (4件)：
F25B9/00 A ,  G01N24/06 510D ,  H01L39/04 ,  G01N24/04 510G
Fターム (13件)：
4M114AA02 ,  4M114AA24 ,  4M114AA31 ,  4M114BB04 ,  4M114CC08 ,  4M114CC16 ,  4M114DA02 ,  4M114DA12 ,  4M114DA18 ,  4M114DA26 ,  4M114DA32 ,  4M114DA33 ,  4M114DA35
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (7件)
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