特許
J-GLOBAL ID：200903074550671084

圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子および振動型ジャイロスコープ、圧電振動子および振動型ジャイロスコープの製造方法

発明者：
竹内 学

竹内 学 について

, 
川内 修

川内 修 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-114285
公開番号（公開出願番号）：特開2005-039780
出願日： 2004年04月08日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 小型で量産性がよく、安定した共振周波数が得られる圧電振動片、その製造方法、この圧電振動片を備える圧電振動子および振動型ジャイロスコープを提供する。【解決手段】 圧電材料からなるウエハ1からフォトリソグラフィにより形成された圧電振動片100,200であって、圧電振動片100,200の一部と、これら圧電振動片の周囲に形成されているウエハの枠部11とが連結される板状の連結部12が形成され、連結部12の少なくとも一方の表面に、断面形状が略V字状の凹部14または凹部15が前記連結部12の幅方向に直線状に穿設されている。この凹部14,15で圧電振動片100,200をウエハ1から折り離して形成し、パッケージ内に格納する振動型ジャイロスコープ400及び圧電振動子500を提供する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
圧電材料からなるウエハからフォトリソグラフィにより形成された圧電振動片であって、 該圧電振動片の一部と該圧電振動片の周囲に形成されている前記ウエハの枠部とを連結する板状の連結部が形成され、 前記連結部の少なくとも一方の表面に、断面形状が略V字状の凹部が前記連結部の幅方向に直線状に穿設されていることを特徴とする圧電振動片。
IPC (8件)：
H03H3/02 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H9/17 ,  H03H9/215
FI (9件)：
H03H3/02 C ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H03H9/17 G ,  H03H9/17 H ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (11件)：
2F105BB11 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  5J108AA06 ,  5J108BB01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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