特許
J-GLOBAL ID：200903074563197799

半導体チップのマウント方法及びその装置

発明者：
土川 和弘

土川 和弘 について


出願人/特許権者：
ローム株式会社

ローム株式会社 について


代理人 (1件)： 石井 暁夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-194126
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007731
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 半導体ウエハー等における半導体チップをピックアップしたのちリードフレームに対してマウントすることを、床占有面積を小さくした状態で、早い速度で行う。【解決手段】 各々半導体チップ3に対するコレットを備えた二つのコレットヘッドのうち第1コレットヘッド8を、半導体ウエハー1におけるピックアップ箇所とリードフレーム7におけるマウント箇所との間を、第2コレットヘッド10を、前記マウント箇所とピックアップ箇所との間を互いに逆方向に往復動し、この逆方向へ往復動の途中において、両コレットヘッド8,10が互いにすれ違うようにする。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハー等から少なくとも一つの半導体チップをピックアップするピックアップ箇所と、リードフレーム等に前記少なくとも一つの半導体チップをマウントするマウント箇所と、前記ピックアップ箇所及び前記マウント箇所の間を往復動する二つのコレットヘッドとを備え、前記両コレットヘッドのうち第1コレットヘッドが前記ピックアップ箇所にあって半導体チップをピックアップしているとき、第2コレットヘッドが前記マウント箇所にあって半導体チップをマウントし、次いで、前記第1コレットヘッド及び前記第2コレットヘッドが、往復動途中の互いにすれ違う移動経路を逆方向に通って前記マウント箇所及びピックアップ箇所に移動し、次いで、前記第1コレットヘッドが前記マウント箇所において半導体チップをマウントしているとき、前記第2コレットヘッドが前記ピックアップ箇所において半導体チップをピックアップし、次いで、前記第1コレットヘッド及び前記第2コレットヘッドが、往復動途中の互いにすれ違う移動経路を逆方向に通って前記ピックアップ箇所及び前記マウント箇所に移動することを繰り返すことを特徴とする半導体チップのマウント方法。
Fターム (2件)：
5F047AA11 ,  5F047FA08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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