固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221625
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053263
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】一方向と、一方向と反対の方向に転送することが可能であり、暗電流を抑制することができるCCDなどの固体撮像装置を提供する。【解決手段】吸収する光の量に応じた信号電荷を生成する受光部と、第1導電型のチャネル形成領域31中において、受光部において生成された信号電荷を転送する転送部とを有し、転送部が少なくとも3相以上の構成であり、その内の1相においてチャネル形成領域の表層部に第2導電型の反転層35が形成されており、残りの相においてはそれぞれ互いに絶縁されたゲート電極(41,43)が形成されている仮想ゲート構造を有する構成とし、各ゲート電極のそれぞれに所定のクロックで変動する電圧パルスを印加することにより、一方向あるいはその反対方向から選択していずれかの方向に信号電荷を転送する。

請求項（抜粋）：

吸収する光の量に応じた信号電荷を生成する受光部と、第1導電型のチャネル形成領域中において、前記受光部において生成された信号電荷を転送する転送部とを有し、前記転送部は、一方向に少なくとも第1相、第2相および第3相がこの順に繰り返し並べられて形成されており、前記第1相においては、前記チャネル形成領域の上層に前記チャネル形成領域から絶縁されて第1ゲート電極が形成されており、前記第2相においては、前記チャネル形成領域の上層に前記第1ゲート電極および前記チャネル形成領域から絶縁されて第2ゲート電極が形成されており、前記第3相においては、前記チャネル形成領域の表層部に第2導電型の反転層が形成されており、前記第1ゲート電極および前記第2ゲート電極のそれぞれに所定のクロックで変動する電圧パルスを印加することにより、前記一方向あるいは前記一方向の反対方向から選択していずれかの方向に前記信号電荷を転送する固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L 27/148 , H01L 29/762 , H01L 21/339 , H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 B , H04N 5/335 F , H01L 29/76 301 A

Fターム (28件)：

4M118AA05 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA12 , 4M118BA13 , 4M118CA04 , 4M118CA08 , 4M118DA03 , 4M118DA21 , 4M118DA32 , 4M118DB01 , 4M118DB06 , 4M118DB07 , 4M118EA08 , 4M118EA09 , 4M118FA02 , 4M118FA06 , 5C024AA01 , 5C024AA20 , 5C024CA10 , 5C024FA01 , 5C024GA01 , 5C024GA11 , 5C024HA09 , 5C024JA24 , 5C024JA25 , 5C024JA31 , 5C024JA34

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平1-128463
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283972 出願人：ソニー株式会社
特開昭62-190754

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審査官引用 (7件)

特開平1-128463
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283972 出願人：ソニー株式会社
特開昭62-190754

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