ウエット処理ノズルおよびウエット処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-155922
公開番号（公開出願番号）：特開2003-093984
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2003年04月02日
要約：

【要約】【課題】ウエット処理において、処理液における汚染発生の防止と、超音波振動子から超音波伝播部に付与した超音波振動のロス防止を図る。【解決手段】超音波周波電気信号を発生する発振器と、超音波周波電気信号が印加される超音波振動子と、一方が超音波振動子の出力端に連結されるとともに他方に被ウエット処理物Wに対向するための接液面130が設けられて、接液面130にウエット処理液2を供給排出するための液供給排出管131が内部に収容される管収容孔132を有する超音波伝播部123と、を具備する。

請求項（抜粋）：

超音波周波電気信号を発生する発振器と前記超音波周波電気信号が印加される超音波振動子と、一方が前記超音波振動子の出力端に連結されるとともに他方に被ウエット処理物に対向するための接液面が設けられて、該接液面にウエット処理液を供給排出するための液供給排出管が内部に収容される管収容孔を有する超音波伝播部と、を具備することを特徴とするウエット処理ノズル。

IPC (4件)：

B08B 3/12 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 643

FI (4件)：

B08B 3/12 D , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 643 D

Fターム (14件)：

2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 2H090JB02 , 2H090JC19 , 3B201AA01 , 3B201AB14 , 3B201AB52 , 3B201BB22 , 3B201BB72 , 3B201BB85 , 3B201BB92 , 3B201CD36

引用特許：

出願人引用 (4件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-078478 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
流体処理装置及び洗浄処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-198313 出願人：大見忠弘, 株式会社フロンテック, オルガノ株式会社
洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-287067 出願人：株式会社フロンテック, 大見忠弘

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審査官引用 (5件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-078478 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
流体処理装置及び洗浄処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-198313 出願人：大見忠弘, 株式会社フロンテック, オルガノ株式会社
洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-287067 出願人：株式会社フロンテック, 大見忠弘

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