特許
J-GLOBAL ID：200903074582161568

余剰ボールの検出方法及び装置

発明者：
下川 健二

下川 健二 について

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巽 宏平

巽 宏平 について

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橋野 英児

橋野 英児 について


出願人/特許権者：
新日本製鐵株式会社

新日本製鐵株式会社 について


代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-160553
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122832
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 微細ボールを用いてバンプを形成する際に、縦方向に2個以上並んだ余剰ボールを確実に検出できるようにする。【解決手段】 配列基板1に保持されている微細ボール3に斜め方向から光7を照射し、それによって形成される微細ボール3の影20a、20bの大きさに基づいて余剰ボール3aの有無及び位置を検出するようにすることにより、検出方向からみて一直線状に重なっている余剰ボールの有無及び位置を確実に検出できるようにする。
請求項（抜粋）：
微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余剰ボールを検出する方法において、前記配列基板に保持されている微細ボールに斜め方向から光を照射し、それによって前記配列基板の表面に形成される微細ボールの影に基づいて余剰ボールを検出することを特徴とする余剰ボールの検出方法。
IPC (5件)：
G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/321 ,  H05K 3/34 512
FI (7件)：
G01B 11/24 C ,  G01N 21/88 F ,  H01L 21/60 311 S ,  H05K 3/34 512 B ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z ,  H01L 21/92 604 T
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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