特許

J-GLOBAL ID：200903074686755567

静電チャック

発明者： 都丸 一彦 ,  米山 勉 ,  半田 隆一
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098755
公開番号（公開出願番号）：特開平11-297804
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 熱伝導率が大きくウエハとの密着性が良く、接触熱抵抗が小さいので十分な放熱特性が得られ、取り出し電極と基板との絶縁性も良好で、取り出し電極部の構造が簡単で製造コストが低い静電チャック。【解決手段】 絶縁性セラミックス基板、該基板上に電極として2つの領域に分割されて形成された導電性パターン及び該導電性パターン上に設けられた弾性体絶縁層からなる静電チャック。

請求項（抜粋）：

絶縁性セラミックス基板、該基板上に電極として2つの領域に分割されて形成された導電性パターン及び該導電性パターン上に設けられた弾性体絶縁層からなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  H01J 37/317 B ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/265 603 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-000575   出願人：日新電機株式会社
• 特開平2-196442
  
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-301834   出願人：日本碍子株式会社
• 特開昭62-157752