熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327665
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144026
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】第2空間に配置される駆動手段の腐食を防止できる。【解決手段】熱処理を行うための処理空間30と、処理空間30においてウエハWを保持する均熱リング40と、均熱リング40を回転させる機構部61と、機構部61が配置される機構部空間60と、処理空間30に処理ガスを供給するためのガス導入部20と、処理空間30および機構部空間60を連通する連通部分90から処理空間30にある処理ガスを排出する排出口80と、連通部分90において均熱リング40と機構部61とを連結させ、かつ連通部分90において処理空間30から排出口80へ流れる処理ガスの流路を一旦内周側流路90bと外周側流路90aとに分岐させ、内周側流路90bに流れた処理ガスと外周側流路90a流れた処理ガスとを合流させて排出口80へ導くサセプタ45と、を備えている。

請求項（抜粋）：

【請求項1】基板に熱処理を行う熱処理装置であって、基板に熱処理を行うための処理空間となる第1空間と、前記第1空間において基板を保持する保持手段と、前記保持手段を回転させる駆動手段と、前記駆動手段が配置される第2空間と、前記第1空間に処理ガスを供給するための処理ガス供給手段と、前記第1空間および前記第2空間を連通する連通部分から前記第1空間にある処理ガスを排出する排出手段と、前記連通部分において前記保持手段と前記駆動手段とを連結させ、かつ前記連通部分において前記第1空間から前記排出手段へ流れる処理ガスの流路を一旦内側流路と外側流路とに分岐させ、前記内側流路に流れた処理ガスと前記外側流路に流れた処理ガスとを合流させて前記排出手段へと導く連結手段と、を備えたことを特徴とする熱処理装置。

引用特許：

出願人引用 (2件)

熱処理装置及びガス処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-225729 出願人：東京エレクトロン株式会社
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-150389 出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (2件)

熱処理装置及びガス処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-225729 出願人：東京エレクトロン株式会社
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-150389 出願人：東京エレクトロン株式会社

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