特許
J-GLOBAL ID：200903074766376567

静電結合を用いる圧力検出装置

発明者：
小川 保二

小川 保二 について


出願人/特許権者：
株式会社シロク

株式会社シロク について


代理人 (2件)： 石原 昌典 ,  生井 和平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-405286
公開番号（公開出願番号）：特開2005-164448
出願日： 2003年12月04日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】高精度に圧力を測定でき、ノイズにも強くあらゆる場所で使用可能な静電結合を用いる圧力検出装置を提供する。【解決手段】圧力検出装置に用いられるセンサ部は、第1電極と、第1電極と重なるように設けられる第2電極と、第2電極と重なるように設けられる第3電極と、第1電極と第2電極との間に設けられる第1誘電体層と、第2電極と第3電極との間に設けられる、第1誘電体層とは弾性率の異なる第2誘電体層とからなる。駆動部により第1電極及び第3電極が駆動される。そして、検出部が、第2電極からの静電結合による信号から、第1電極と第3電極との間にかかる圧力を差動的に検出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
静電結合を用いる圧力検出装置であって、該圧力検出装置は、 第1電極と、 前記第1電極と重なるように設けられる第2電極と、 前記第2電極と重なるように設けられる第3電極と、 前記第1電極と第2電極との間に設けられる第1誘電体層と、 前記第2電極と第3電極との間に設けられる、前記第1誘電体層とは弾性率の異なる第2誘電体層と、 を有するセンサ部と、 前記第1電極及び第3電極に、又は第2電極に電圧を印加する駆動部と、 前記駆動部により駆動された電極以外の電極からの静電結合による信号から、前記第1電極と第3電極との間にかかる圧力を検出する検出部と、 を具備することを特徴とする圧力検出装置。
IPC (2件)：
G01L1/14 ,  G01L5/00
FI (2件)：
G01L1/14 J ,  G01L5/00 101Z
Fターム (2件)：
2F051AB06 ,  2F051BA07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開昭62-226030号公報
審査官引用 (3件)

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