特許

J-GLOBAL ID：200903074771732517

アスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置および有機物処理システム

発明者： 徳村 勝也
出願人/特許権者： ジェイ・ビー・シー・サービス株式会社 ,  徳村 勝也
代理人 (1件)： 伊藤 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-326627
公開番号（公開出願番号）：特開2008-036620
出願日： 2006年12月04日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】触媒を使用することなくプラズマだけで有機物の処理を行うことができ、また、処理対象ガスを中心金属電極において直接反応させないようにする。【解決手段】処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体の外周壁に金属外部電極を付設し、表面にガラスコーティング処理を施すか、もしくは表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用してなる中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外周部の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心金属電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設したことを特徴とするアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体の外周壁に金属外部電極を付設し、表面にガラスコーティング処理を施すか、もしくは表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用してなる中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外周部の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心金属電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設したことを特徴とするアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。

IPC (2件)：

B01J 19/08 ,  G01N 21/53

FI (2件)：

B01J19/08 K ,  G01N21/53 Z

Fターム (25件)：

2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059BB09 ,  2G059CC12 ,  2G059DD15 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  4G075AA27 ,  4G075AA63 ,  4G075BA05 ,  4G075BD14 ,  4G075CA03 ,  4G075CA25 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EA07 ,  4G075EB21 ,  4G075EC21 ,  4G075FB06 ,  4G075FB12 ,  4G075FC15

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 基板表面のプラズマ洗浄方法とウエハのフオトレジスト・プラズマ洗浄方法と基板表面の洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-143980   出願人：マツトソン・テクノロジー・インコーポレイテツド
• 基板洗浄方法、基板洗浄装置および実装方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-310912   出願人：松下電器産業株式会社