蒸着装置における有機材料用蒸発源及びその蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉井剛 , 吉井雅栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-120549
公開番号（公開出願番号）：特開2004-323915
出願日： 2003年04月24日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】容器内の有機材料を略均一に加熱させて偏りなく蒸発させることができ、長時間安定して蒸発レートを制御することができる極めて実用性に秀れた画期的な蒸着装置における有機材料用蒸発源並びにその蒸着装置を提供するものである。【解決手段】有機材料1を高周波誘導加熱方式により加熱して蒸発させ、基板6に付着させることでこの基板6上に有機薄膜8を成膜する蒸着装置における前記有機材料1を充填する容器3と、この容器3の周囲に配設される誘導コイル4とから成る有機材料用蒸発源において、容器3を高周波誘導加熱されない材質で形成し、この容器3に、高周波誘導加熱される材質から成る粒状の混入物2を多数混入した有機材料1を充填したものである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

有機材料を高周波誘導加熱方式により加熱して蒸発させ、基板に付着させることでこの基板上に有機薄膜を成膜する蒸着装置における前記有機材料を充填する容器と、この容器の周囲に配設される誘導コイルとから成る有機材料用蒸発源において、容器を高周波誘導加熱されない材質で形成し、この容器に、高周波誘導加熱される材質から成る粒状の混入物を多数混入した有機材料を充填したことを特徴とする有機材料用蒸発源。

IPC (5件)：

C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/26 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (5件)：

C23C14/12 , C23C14/24 E , C23C14/26 B , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB17 , 4K029DB19

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭59-177364
有機物の蒸着方法及びこの方法に用いられる蒸着装置ならびに蒸発源
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-128791 出願人：三容真空工業株式会社
特公昭44-032651

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