特許
J-GLOBAL ID：200903074791314827
イオン注入用加速器のための共振回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272518
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124149
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】同調及びマッチング用の改良された機構を有する共振回路を提供すること。【解決手段】共振回路は、キャパシタ88,82 と固定インダクタ62が並列接続されて共振器60を形成する。インダクタとキャパシタの第1,第2端部が、それぞれ共振器の高電圧端子64と低電圧端子66に接続され、RF入力カップリングが低電圧端子でインダクタに連結され、高電圧電極が高電圧端子に連結される。インダクタのコイル内で移動可能なプランジャー90を有する第1共振器同調機構がインダクタのインダクタンスを変え、第2共振器同調機構がキャパシタのキャパシタンスを変えるように設けられる。第1同調機構は、インダクタのインダクタンスを変えることによって共振回路の微調整を行い、第2同調機構は、キャパシタのキャパシタンスを変えることによって共振回路の粗調整を行う。
請求項（抜粋）：
(a) 共振器(60)を形成するために互いに並列に電気接続されて、前記共振器(60)の高電圧端子(64)と低電圧端子(66)にそれぞれインダクタとキャパシタの第1,第2端部が電気接続される前記インダクタ(62)とキャパシタ(88,82) と、(b) 前記共振器(60)の低電圧端子(66)において前記インダクタ(62)に直接連結された無線周波(RF)入力カップリング(70)と、(c) 前記共振器(60)の高電圧端子(64)に連結された高電圧電極(72)とを備えていることを特徴とする、所定の周波数において共振可能な共振回路。
IPC (3件)：
H01L 21/265
, C23C 14/48
, H01J 37/317
H01L 21/265 603 Z
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/317 Z
