特許
J-GLOBAL ID:200903074795596762
薄板状ワーク搬送用ハンド
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中井 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-117956
公開番号(公開出願番号):特開平8-288364
出願日: 1995年04月18日
公開日(公表日): 1996年11月01日
要約:
【要約】【目的】 加工歪のない所望の平面状態とすることができ、かつ重力による撓みの小さい搬送用ハンドを確実に提供すること。【構成】 薄板状ワーク30を載置する搬送用ハンドを棚状のカセット40に対して水平方向に接近および離間して、薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置の先端に取付けられる薄板状ワーク搬送用ハンド10において、前記ハンドは、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてU字状101に形成されていることを特徴としている。
請求項(抜粋):
薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置の先端に取付けられる薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、前記ハンドは、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成されてなることを特徴とする薄板状ワーク搬送用ハンド。
IPC (3件):
H01L 21/68
, B65D 85/86
, B65G 49/07
FI (3件):
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 E
, B65D 85/38 R
引用特許:
審査官引用 (2件)
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基板搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-264305
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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基板搬送装置のアーム機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-243511
出願人:株式会社ミクロ技術研究所, 株式会社金堂精密
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