特許

J-GLOBAL ID：200903074796434391

銅配線の電気化学的または化学的沈着のためのメッキ溶液およびその方法

発明者： ボイド,スティーブン ディー. ,  ケサリ,ススルト ,  ラマンナ,ウィリアム エム. ,  ペアレント,マイケル ジェイ. ,  ザッゼラ,ローレンス エー. ,  チァン,ハイヤン
出願人/特許権者： スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  永坂 友康 ,  西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-564876
公開番号（公開出願番号）：特表2006-509917
出願日： 2003年11月07日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

本発明は、銅ビス(ペルフルオロアルカンスルホニル)イミドまたは銅トリス(ペルフルオロアルカンスルホニル)メチドのいずれかを有するメッキ溶液、およびこれらのメッキ溶液を使用して、銅配線に電気化学的または化学的に沈着する方法を提供する。

請求項（抜粋）：

a)式:

IPC (2件)：

C25D 3/38 ,  H01L 21/288

FI (2件)：

C25D3/38 ,  H01L21/288 E

Fターム (11件)：

4K023AA19 ,  4K023BA29 ,  4K023CA09 ,  4K023CB03 ,  4K023CB09 ,  4K023CB13 ,  4K023CB28 ,  4K023DA02 ,  4M104BB04 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53

引用特許：

審査官引用 (4件)

• トリス(パーフルオロアルキルスルホニル)メチドの金属塩
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-021603   出願人：旭化成工業株式会社, 財団法人野口研究所
• 水系媒体中での反応方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-086777   出願人：旭化成株式会社, 財団法人野口研究所
• (全ラセミ体)-α-トコフェロールを製造するための方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-071442   出願人：エフ.ホフマン-ラロシュアーゲー
• フルオロカーボンアニオンを有するエネルギー活性塩
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-526859   出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー