特許
J-GLOBAL ID：200903074814240400

試料作成装置および方法

発明者：
山本 立春

山本 立春 について

, 
梅村 馨

梅村 馨 について

, 
富松 聡

富松 聡 について

, 
松島 勝

松島 勝 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332237
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155081
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】元試料から、TEMまたはSEM観察のための試料片の採取、成形および観察ホルダ設置までの工程を簡素化し、試料処理室において一貫して行なう。【解決手段】集束イオンビーム照射光学系2により元試料5の所望位置において試料片15の切り出しの成形を行なう。次に、脱着可能な試料片プローブ7によって試料片15を採取し、試料片プローブ7を観察用試料ホルダ10に移載した後、試料処理室1からエアーロック機構を用いて観察用試料ホルダ10を抜き取ることによって、簡便かつ迅速な試料作成を行なう。
請求項（抜粋）：
透過型電子顕微鏡または走査型電子顕微鏡による観察対象となる試料片を、元試料から成形、分離および試料片プローブによる採取までの一連のサンプリング工程と、成形後の前記試料片が接続された前記試料片プローブを観察用試料ホルダに設置するまでの移載工程を、集束イオンビーム照射光学系および二次電子検出器と、集束イオンビームの照射領域にデポジション膜を形成するためのデポジション用ガス源と、元試料を設置する試料移動機構と、前記試料片を採取するための試料片プローブと、前記試料片プローブが着脱可能な試料片プローブホルダおよび試料片プローブ移動機構と、前記試料片プローブ単体を搭載する観察用試料ホルダおよび観察用試料ホルダ移動機構を試料処理室に備えることによって、前記試料処理室内で一貫して行うことを特徴とする試料作成装置。
IPC (3件)：
G01N 1/28 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/32
FI (6件)：
G01N 1/28 G ,  G01N 1/00 101 C ,  G01N 1/32 B ,  G01N 1/28 H ,  G01N 1/28 N ,  G01N 1/28 W
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM