特許

J-GLOBAL ID：200903074836317121

キャラクタ抽出方法およびコンピュータ読取り可能な記録媒体

発明者： 稲浪 良市 ,  馬越 俊幸
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-085363
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274060
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】CP露光を行なうキャラクタを効率よく抽出すること。【解決手段】設計パターンデータ内の図形セルの階層構造cell5,51,52,4を利用することにより、実際のパターンの形状や配置情報(パターン間の関係、配置の周期)を考慮する必要がなくるので、CP露光を行なうキャラクタを効率よく抽出できるようになる。

請求項（抜粋）：

露光するデバイスパターンの設計データであって、図形セルに関して階層構造を有する設計データを用意する第1のステップと、前記デバイスパターンの少なくとも一部をキャラクタ・プロジェクション方式の電子ビーム露光により露光する際、該露光を行なう際の単位となるキャラクタの種類数および電子ビームのショット数の少なくとも一方が最小となるように、前記設計パターンデータ内のすべての階層の図形セルの中から、前記キャラクタに対応する図形セルの候補を、前記設計パターンデータ内の図形セルに関する階層構造を利用して抽出する第2のステップとを有することを特徴とするキャラクタ抽出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 541 S ,  H01L 21/30 541 Q

Fターム (12件)：

2H097AA03 ,  2H097AA20 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA16 ,  2H097EA01 ,  2H097LA10 ,  5F056AA05 ,  5F056AA06 ,  5F056AA31 ,  5F056CA01 ,  5F056CA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-320021
  
• ブロック露光用パターン抽出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-347053   出願人：富士通株式会社
• 荷電ビーム描画方法及び描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-144549   出願人：株式会社東芝