特許

J-GLOBAL ID：200903074839592212

プラズマチャンバーにおいて半導体ワークピースを取り巻く導電性カラー

発明者： マ, シャウミン ,  ストラブ, ラルフ, エイチ., エム.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一 ,  鈴木 康仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-580374
公開番号（公開出願番号）：特表2004-531059
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

ワークピースの周囲における露出金属からの電気的アークを減少又は排除することのできるプロセスキットを有するプラズマチャンバー装置及び方法。プラズマチャンバーは、ワークピース付近にカソード電極を備えている。プロセスキットは、ワークピースの周囲を取り巻く。このプロセスキットは、誘電体シールドと、この誘電体シールドの上に横たわる導電性カラーとを含む。導電性カラーの抵抗率は、0.1Ω-cm以下である。

請求項（抜粋）：

ワークピースに対して半導体製造プロセスを実行するためのプラズマチャンバーであって、 上記チャンバーの内部領域に面する前面を有しているカソード電極と、 上記カソード電極の上記前面に平行で且つそれに隣接したワークピースエリアを上記ワークピースが占有するように上記ワークピースを保持するためのワークピース支持部材と、 誘電体材料で構成され、上記ワークピースエリアの周囲を取り巻くシールドと、 抵抗率が0.1Ω-cm以下で、上記ワークピースエリアの周囲を取り巻き、且つ上記誘電体シールドの少なくとも一部分の上に横たわる導電性カラーと、 を備えた、プラズマチャンバー。

IPC (4件)：

H01L21/3065 ,  H01J37/32 ,  H01L21/205 ,  H05H1/46

FI (4件)：

H01L21/302 101B ,  H01J37/32 ,  H01L21/205 ,  H05H1/46 M

Fターム (12件)：

5F004AA16 ,  5F004BA09 ,  5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F004BD03 ,  5F004BD04 ,  5F045AA08 ,  5F045EH04 ,  5F045EH08 ,  5F045EH14 ,  5F045EH19 ,  5F045EM05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プラズマチャンバの半導体ワークピースを取り囲むシールド又はリング
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-512233   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 電気的に結合されているカラーリングを有するプラズマチャンバ支持体
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-512239   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド