耐食性アルミナ焼結体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：香本薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-105118
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302537
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】一般的な焼結法によって、フッ素などハロゲン系を含むプラズマに対して十分な耐食性を発揮するアルミナセラミックスを提供する。【解決手段】アルミナセラミックス粒界のSi/Al原子比を0.2以下とし、さらに粒界の幅を10A未満とする。

請求項（抜粋）：

粒界のSi/Al原子比が0.2以下であることを特徴とする耐食性アルミナ焼結体。

IPC (3件)：

C04B 35/10 , B01J 3/00 , H01L 21/3065

FI (3件)：

C04B 35/10 Z , B01J 3/00 K , H01L 21/302 B

Fターム (12件)：

4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030BA33 , 4G030CA05 , 4G030GA22 , 4G030GA26 , 4G030GA27 , 5F004AA16 , 5F004BB29 , 5F004DA17 , 5F004DA23 , 5F004DB00

引用特許：

審査官引用 (2件)

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