照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小橋川洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-127870
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292584
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】観察対象に光学特性のバラツキがあっても、簡単な構成で、対象物に応じた最適照明を実現する。【解決手段】照明装置1は、発光部25、拡散板21、色フィルタ19、光シャッタ17、投射レンズ11から成り、投射レンズ11からの光は、対象物3(半導体基板等)を照射し、その反射光は肉眼やカメラ5によって観察される。色フィルタ19は、R(赤)、G(緑)、B(青紫)の部分から成り、各部分は光シャッタ17の各素子に対応して配置されている。色フィルタ19の位置に応じて光シャッタの素子を駆動すれば色のついた光を照射することができる。コントラストの高い像が得られない場合は、光シャッタ17の透明部を変えて、色フィルタ19のうち色の異なるフィルタ部分(1つまたは複数の組み合わせ)を使用する。

請求項（抜粋）：