特許
J-GLOBAL ID：200903074886109309

トレンチ埋め込み用組成物

発明者：
竹政 洋

竹政 洋 について

, 
土井 一郎

土井 一郎 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  武井 英夫 ,  松井 佳章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-161462
公開番号（公開出願番号）：特開2009-004438
出願日： 2007年06月19日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】酸化雰囲気や極端な高温環境を使用せずとも、不純物としての炭素残存量が炭素原子の量で1立方センチメートル当たり0.1ミリモル以下の酸化膜からなるトレンチ分離を実現できる、トレンチ埋め込み用組成物を提供する。【解決手段】酸化シリコン粒子と溶媒とを含有するトレンチ埋め込み用組成物において、溶媒として、溶媒全体を100質量部としたときに90質量部以上の水を含有することを特徴とするトレンチ埋め込み用組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸化シリコン粒子と溶媒とを含有するトレンチ埋め込み用組成物において、溶媒として、溶媒全体を100質量部としたときに90質量部以上の水を含有することを特徴とするトレンチ埋め込み用組成物。
IPC (2件)：
H01L 21/76 ,  H01L 21/316
FI (2件)：
H01L21/76 L ,  H01L21/316 P
Fターム (15件)：
5F032AA35 ,  5F032AA44 ,  5F032AA45 ,  5F032AA50 ,  5F032AA69 ,  5F032CA10 ,  5F032DA10 ,  5F032DA74 ,  5F058BA02 ,  5F058BA20 ,  5F058BC02 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BH04 ,  5F058BJ06
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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