特許
J-GLOBAL ID:200903074893740421

基板収納容器及び逆止弁

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-239241
公開番号(公開出願番号):特開2008-066330
出願日: 2006年09月04日
公開日(公表日): 2008年03月21日
要約:
【課題】締め付けトルクの管理の必要性が無く、組立作業の簡素化を図った逆止弁及び逆止弁を備えた基板収納容器を提供すること。【解決手段】逆止弁8は、後端側に装着されハウジング11に対して相対回転可能とされると共に、ハウジング11を後方から容器本体2に固定する固定リング19を備えている。この固定リング19を後方から押し込むことで、ハウジング11を容易に固定することができる。このような固定リング19を備えることで、従前のようなねじによる結合部分を無くす。これにより、締め付けトルクの管理を不要とし、組立作業の簡素化を図ることができる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基板を収納する容器本体と、円筒状のハウジング及び前記ハウジング内に配置された弁体を有し前記容器本体の内外に対する気体の流通を制御する逆止弁とを備え、前記ハウジングが前記容器本体の貫通孔に装入される基板収納容器において、 前記容器本体の内部側を先端側とし、 前記逆止弁は、後端側に装着され前記ハウジングに対して相対回転可能とされると共に、前記ハウジングを後方から前記容器本体に固定する固定リングを具備し、 前記ハウジングは、 先端側に配置される第1のハウジングと、 先端部が前記第1のハウジング内に挿入されて、前記第1のハウジングに取り付けられる第2のハウジングとを備え、 前記第1のハウジングは、 後端部から後方へ突出する固定片と、 前記固定片の後端部に形成され固定リングを固定する固定爪とを備え、 前記固定リングは、 前記第1のハウジングの外側に装着される円筒状の側壁部と、 前記側壁部から外方へ突出するつば部とを備え、 前記側壁部の内周面には、 軸方向に延在し前記固定爪を案内する案内凹部と、 内方に突出し前記固定片と当接可能とされた周り止め部と、 前記周り止め部から周方向に屈曲され前記固定片に係止されるフック部とが設けられていることを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件):
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (2件):
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (21件):
3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CA01 ,  3E096CB03 ,  3E096DA30 ,  3E096FA03 ,  3E096FA08 ,  3E096GA20 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA01 ,  5F031EA02 ,  5F031EA04 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031KA20 ,  5F031NA03 ,  5F031NA15 ,  5F031PA07
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-311275   出願人:信越ポリマー株式会社
  • 基板収納容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-344954   出願人:信越ポリマー株式会社
  • フィルタカートリッジ組立体
    公報種別:公表公報   出願番号:特願2000-562129   出願人:セミファブインコーポレイテッド, エムパック

前のページに戻る