特許
J-GLOBAL ID:200903074914941198

プリント基板検査装置およびプリント基板検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-148293
公開番号(公開出願番号):特開2009-294101
出願日: 2008年06月05日
公開日(公表日): 2009年12月17日
要約:
【課題】TDRを用いてプリント基板内の検査部位の良否判定を精度良く容易に行なうことができる検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】出力インピーダンスが可変のパルス発生器41から出力されたパルス波を用いて時間領域反射率測定を行なう。検査用プリント基板の測定波形と参照用プリント基板の基準波形との乖離幅が十分でなく良否判定が困難な場合には、パルス発生器41の出力インピーダンスを変更して再測定を行なう。短絡/開放など検査部位の状態に応じて測定波形と基準波形との乖離幅が大きくなるように出力インピーダンスを設定することにより、精度良く容易に良否判定を行なうことができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
出力インピーダンスを複数のインピーダンス値に設定可能なパルス発生器と、 前記パルス発生器から出力されたパルス波をプリント基板に形成された配線パターンを介して前記プリント基板の検査部位に伝送するために、前記配線パターンに前記パルス波を印加するためのプローブと、 前記プリント基板から前記プローブを介して反射された前記パルス波の反射波を測定する測定器と、 参照用プリント基板を用いて前記複数のインピーダンス値の各々に対して前記測定器で予め測定した複数の前記反射波の波形を記憶する記憶部と、 前記出力インピーダンスを前記複数のインピーダンス値のうちの第1のインピーダンス値に設定して、検査用プリント基板の前記反射波の波形を前記測定器で測定する波形測定部と、 前記検査用プリント基板に対して測定された前記反射波の波形と、前記出力インピーダンスを前記第1のインピーダンス値に設定して測定された前記参照用プリント基板の前記反射波の波形とを比較して、予め定める判定基準に従って、前記検査部位の正常/異常の判定または正常/異常の判定を留保する判定部とを備え、 前記判定部が判定を留保した場合に、前記波形測定部は、前記出力インピーダンスを前記第1のインピーダンス値と異なる第2のインピーダンス値に設定して、前記検査用プリント基板の前記反射波の波形を前記測定器で再測定し、前記判定部は、前記検査用プリント基板に対して再測定された前記反射波の波形と、前記出力インピーダンスを前記第2のインピーダンス値に設定して測定された前記参照用プリント基板の前記反射波の波形とを比較して、前記判定基準に従って前記検査部位を再判定する、プリント基板検査装置。
IPC (2件):
G01R 31/02 ,  H05K 3/00
FI (2件):
G01R31/02 ,  H05K3/00 T
Fターム (5件):
2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB59 ,  2G014AC09 ,  2G014AC10
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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