特許
J-GLOBAL ID：200903074947961283
静電容量型センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344030
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160181
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 応答速度を向上しつつ、高感度な測定を行うことができ、しかも、ゴミ等の浸入や電極の腐食などというおそれがなく長期的に所望の効果を発揮することができ寿命が長く信頼性の高い静電容量型センサを提供すること【解決手段】 物理量を受けて撓むダイアフラム11の内部に中空なギャップ12を形成し、そのギャップ内にダイアフラムの変位方向に空間をおいて固定電極としてのビーム電極22bを設ける。この時、その固定電極は、ダイアフラムが撓んでも変形せず、対向するダイアフラムの面との距離が変化するようにする。さらに、前記固定電極と対向する前記ダイアフラムの内面所定位置に可動電極を設ける。前記可動電極と前記固定電極間に発生する静電容量に応じた信号を出力する手段であるワイヤパッド22a〜20cを備える。またギャップ内は真空にしている。
請求項（抜粋）：
物理量を受けて撓むダイアフラムの内部に中空なギャップを形成し、前記ギャップ内に前記ダイアフラムの変位方向に空間をおいて固定電極を設けるとともに、その固定電極は前記ダイアフラムが撓んでも変形せず、対向するダイアフラムの面との距離が変化するように設置し、前記固定電極と対向する前記ダイアフラムの内面所定位置に可動電極を設け、前記可動電極と前記固定電極間に発生する静電容量に応じた信号を出力する手段を備えた静電容量型センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, G01L 13/06
, H01L 29/84
G01L 9/12
, G01L 13/06 C
, H01L 29/84 Z
