薄膜磁気ヘッド、薄膜磁気ヘッド用基板、および薄膜磁気ヘッド用基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260009
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】アルミナチタンカーバイド基板と酸化アルミニウム層との密着強度が十分で信頼性の高い薄膜磁気ヘッド基板およびそのような薄膜磁気ヘッド用基板を効率良く製造する方法を提供する。【解決手段】アルミナチタンカーバイト基板10と、アルミナチタンカーバイト基板10の表面上に形成された酸化アルミニウム層20とを有する薄膜磁気ヘッド用基板100であって、アルミナチタンカーバイト基板10は、酸化アルミニウム層側に表面改質層12を有し、表面改質層12はチタン酸アルミニウムを含む。

請求項（抜粋）：

アルミナチタンカーバイト基板と、前記アルミナチタンカーバイト基板の表面上に形成された酸化アルミニウム層とを有する薄膜磁気ヘッド用基板であって、前記アルミナチタンカーバイト基板は、前記酸化アルミニウム層側に表面改質層を有し、前記表面改質層はチタン酸アルミニウムを含む、薄膜磁気ヘッド用基板。

Fターム (6件)：

5D033BA51 , 5D033BA52 , 5D033CA04 , 5D033DA01 , 5D033DA03 , 5D033DA08

引用特許：

出願人引用 (3件)

薄膜磁気ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-350853 出願人：リードライト・エスエムアイ株式会社
薄膜磁気ヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-187167 出願人：ティーディーケイ株式会社
特開昭60-039807

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