特許
J-GLOBAL ID：200903075023713336
ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小林 久夫
, 安島 清
, 佐々木 宗治
, 大村 昇
, 高梨 範夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-157034
公開番号（公開出願番号）：特開2007-326231
出願日： 2006年06月06日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】ノズルプレートの製造に要する製造工程を減らしつつ加工精度の高いノズル孔を形成し、安定的なインク吐出特性を実現したノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。【解決手段】ノズルプレートには、シリコン基板に、第1のノズル孔6と、第1のノズル孔6に連通し、第1のノズル孔6よりも漸次径を大きくしたテーパ状の第2のノズル孔7とからなるノズル孔が形成され、第2のノズル孔7となる部分7aのパターニングをこの第2のノズル孔7の中心軸線から外周に向かうにつれて径を大きくした複数のリング形状として第1のノズル孔6となる部分6aのパターニングと同時に行なうことを特徴とする。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
シリコン基板に、第1のノズル孔と、前記第1のノズル孔に連通し、前記第1のノズル孔よりも漸次径を大きくしたテーパ状の第2のノズル孔とからなるノズル孔を形成するノズルプレートの製造方法であって、
前記第2のノズル孔となる部分のパターニングをこの第2のノズル孔の中心軸線から外周に向かうにつれて径を大きくした複数のリング形状として前記第1のノズル孔となる部分のパターニングと同時に行なう
ことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/135
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J3/04 103N
, B41J3/04 103A
2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AP13
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP56
, 2C057AP60
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA15
