形状測定装置及び形状測定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-183082
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028684
出願日： 2002年06月24日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】測定方向による測定値の誤差が大きくなるヒステリシス現象の影響を小さくできる形状測定装置及び形状測定方法を提供する。【解決手段】一端にスタイラス12を他端にミラー面13を設けたスライド部11と、エア軸受31と弾性材14を介してスライド部11をその軸芯方向に移動可能に支持するガイド部15と、ミラー面13による反射光にてスライド部の11位置を測定する位置測定手段32と、スライド部11とガイド部15との相対位置を測定する相対位置測定手段27と、スタイラス12が被測定面2aを走査する時の被測定面2aの傾斜角度や測定方向を算出する算出手段33と、前記算出手段33による結果に応じてスライド部11とガイド部15の相対位置を制御するためガイド部15を位置調整する位置調整手段28、29とを備えた。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

一端にスタイラスを他端にミラー面を設けたスライド部と、エア軸受と弾性材を介してスライド部をその軸芯方向に移動可能に支持するガイド部と、第1の光源からの光を光学素子を介してミラー面に向けて照射し、ミラー面の移動方向の位置をミラー面による反射光から測定するスライド部の位置測定手段と、第2の光源からの光を光学素子を介してミラー面に向けて照射し、スライド部とガイド部とのミラー面の移動方向の相対位置を測定する相対位置測定手段と、スタイラスが被測定面を走査する時の被測定面の傾斜角度や傾斜に対する測定方向を算出する算出手段と、前記算出手段による結果に応じてスライド部とガイド部の相対位置を制御するためガイド部を位置調整する位置調整手段とを備えたことを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B21/20

FI (1件)：

G01B21/20 101

Fターム (7件)：

2F069AA66 , 2F069DD30 , 2F069GG02 , 2F069GG59 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069RR01

引用特許：

審査官引用 (17件)

特許第3000819号
特許第3000819号
特許第3000819号

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