特許
J-GLOBAL ID：200903075084689810

微小振動検出装置

発明者：
水間 将支

水間 将支 について

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平野 嘉仁

平野 嘉仁 について

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安藤 俊行

安藤 俊行 について

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今城 正雄

今城 正雄 について

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亀山 俊平

亀山 俊平 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (5件)： 曾我 道照 ,  曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-203640
公開番号（公開出願番号）：特開2006-023245
出願日： 2004年07月09日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】送受信光のエネルギー利用効率が高く、F分の1ノイズの影響を抑えた微小振動検出装置を得る。【解決手段】光源からのレーザ光を分岐する光分岐カプラと、パルス波形を変調信号として生成する変調信号発生器と、分岐されたレーザ光を光パルス信号に変調する光パルス変調器と、光パルス信号のパルス幅とパルス繰り返し周期との比に応じて、光パルス信号を増幅する光増幅器と、送信光を照射し、測定対象からの散乱光を受信する送受信光学系と、増幅された光パルス信号を送信光として送受信光学系に出力し、送信光に対応する散乱光を受信する光サーキュレータと、分岐されたレーザ光と散乱光とをヘテロダイン検波し電気信号に変換する光受信機と、変調信号発生器からの変調信号に基づいて、光受信機からの電気信号を信号処理し測定対象の振動周波数または振動変位を検出する信号処理機とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を測定対象に照射し、その反射レーザ光に付加された振動成分を取り出すことにより測定対象の振動周波数または振動変位を測定する微小振動検出装置において、 単一波長のレーザ光を生成する光源と、 前記光源からのレーザ光を分岐する光分岐カプラと、 所定のパルス幅及びパルス繰り返し周期をもつパルス波形を変調信号として生成する変調信号発生器と、 前記変調信号発生器からの前記変調信号に基づいて、前記光分岐カプラで分岐されたレーザ光を光パルス信号に変調する光パルス変調器と、 前記光パルス変調器で変調された光パルス信号のパルス幅とパルス繰り返し周期との比に応じて、光パルス信号を増幅する光増幅器と、 送信光を照射して前記測定対象からの散乱光を受信する送受信光学系と、 前記光増幅器によって増幅された光パルス信号を送信光として前記送受信光学系に出力するとともに、前記送受信光学系から前記送信光に対応する散乱光を受信する光サーキュレータと、 前記光分岐カプラで分岐されたレーザ光と、前記光サーキュレータからの散乱光とをヘテロダイン検波し電気信号に変換する光受信機と、 前記変調信号発生器からの前記変調信号に基づいて、前記光受信機からの電気信号を信号処理し前記測定対象の振動周波数または振動変位を検出する信号処理機と を備えたことを特徴とする微小振動検出装置。
IPC (1件)：
G01H 9/00
FI (1件)：
G01H9/00 C
Fターム (12件)：
2G064AA01 ,  2G064AB01 ,  2G064AB02 ,  2G064BA02 ,  2G064BC05 ,  2G064BC06 ,  2G064BC12 ,  2G064BC19 ,  2G064BC32 ,  2G064CC17 ,  2G064CC19 ,  2G064CC36
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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