表面欠陥検出装置及びその方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山聞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044411
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230912
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】欠陥部と黒変色部の確実な識別をする。【解決手段】光源4から照射する探査光iを測定対象物Xの表面に照射し、これにより生ずる散乱光Sと正反射光Yを散乱光用5及び正反射光用受光素子6で夫々受光すると共に、この受光した2種類の散乱光強度Is及び正反射光強度Irの光信号を電気信号に変換して、該電気信号をコンピュータで正反射光強度Irに対する散乱光強度Isの比Is/Irに演算処理して、黒変色部と欠陥部における正反射光強度Irに対する散乱光強度Isの比Is/Irの顕著な差から両者の確実な識別を行う。

請求項（抜粋）：

探査光を照射する光源と、かかる探査光を測定対象物の表面に照射することにより生ずる散乱光と正反射光を夫々受光し、この受光した2種類の散乱光強度及び正反射光強度の光信号を電気信号に変換する散乱光用及び正反射光用受光素子と、上記電気信号を正反射光強度に対する散乱光強度の比に演算処理するコンピュータとから成ることを特徴とする表面欠陥検出装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭55-124003
特開昭56-110041
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-182541 出願人：富士通株式会社

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