粒子分布測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺望稔 , 三和晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-391941
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156221
出願日： 2003年11月21日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】レーザ光を照射することによりプラズマ状態の分子等の測定対象粒子の発光する光を測定することで測定対象粒子の分布を測定する測定装置であって、測定対象粒子の発光する光の検出信号のS/N比を高め、高感度に高ダイナミックレンジで高速に測定する。【解決手段】粒子分布測定装置10は、レーザ光生成ユニット12と、レーザ光を測定対象粒子への照射光として集束させるフォーカスレンズ18aと、照射光の照射を受けて測定対象粒子の発光する光を検出する検出ユニット20と、レーザ光生成ユニット12から入射したレーザ光の少なくとも一部分を、照射光としてフォーカスレンズ18aの像面位置の点から出射させかつ、測定対象粒子の発光する光のうちフォーカスレンズ18aの焦点位置の点に集まる光を検出ユニット20へ進ませる共焦点光学系形成手段と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象粒子にレーザ光を照射することにより前記測定対象粒子の発光する光を検出して前記測定対象粒子の分布を測定する粒子分布測定装置であって、レーザ光を出射するレーザ光生成ユニットと、前記レーザ光を前記測定対象粒子への照射光として、前記測定対象粒子が分布する空間内の所定の位置に集束させるフォーカスレンズを備えるレンズユニットと、前記照射光の照射を受けて前記測定対象粒子の発光する光を検出する検出ユニットと、前記レーザ光生成ユニットから入射したレーザ光の少なくとも一部分を、前記照射光として前記フォーカスレンズの像面位置の点から出射させるとともに、前記測定対象粒子の発光する光のうち前記フォーカスレンズの焦点位置の点に集まる光を前記検出ユニットへ進ませる共焦点光学系形成手段と、を有することを特徴とする粒子分布測定装置。

IPC (2件)：

G01N21/63 , G01N15/06

FI (2件)：

G01N21/63 A , G01N15/06 C

Fターム (17件)：

2G043AA01 , 2G043CA02 , 2G043CA06 , 2G043EA10 , 2G043FA01 , 2G043GA01 , 2G043GB01 , 2G043HA01 , 2G043HA02 , 2G043HA07 , 2G043HA15 , 2G043JA02 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA02

引用特許：

審査官引用 (10件)

共焦点分光システムおよび分光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-327190 出願人：マツクス-プランク-ゲゼルシャフトツールフエルデルングデルヴイツセンシャフテンエーフアウ
レーザレーダによる水中2次元探査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-109763 出願人：三菱重工業株式会社
レーザを用いたガスの直接分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-156243 出願人：三菱重工業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

レーザ光を用いた植物プランクトン鉛直分布観測手法

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