特許
J-GLOBAL ID:200903075222447980

放射光ミラー装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山田 恒光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-210682
公開番号(公開出願番号):特開2001-033595
出願日: 1999年07月26日
公開日(公表日): 2001年02月09日
要約:
【要約】【課題】 反射面を略楕円もしくは放物線形状の凹湾曲面に設定できる放射光ミラー装置を提供する。【解決手段】 両端近傍部分がそれぞれ揺動ホルダ14に挿通された湾曲用弾性体16の軸線方向に非対称な2箇所の位置を、変位ホルダ51により長尺ミラー13に対して近接離反させ、揺動ホルダ14を介して長尺ミラー13の各端部に大きさが異なる曲げモーメントを付与することにより、長尺ミラー13の反射面18を略楕円もしくは放物線形状の凹湾曲面に設定する。
請求項(抜粋):
反射面に入射する放射光ビームに含まれているX線領域の電磁波をX線ビームとして反射する長尺ミラーと、該長尺ミラーの各端部をそれぞれ保持する揺動ホルダと、長尺ミラーが湾曲し得るように各揺動ホルダを枢支する支持ホルダと、長尺ミラーの反射面側あるいは反射面の裏面側に沿って配置され且つ両端近傍部分がそれぞれ揺動ホルダに軸線方向への微小移動が許容され得るように挿通された湾曲用弾性体と、該湾曲用弾性体に2箇所で嵌着し且つ長尺ミラーに対して近接・離反可能な変位ホルダとを備え、湾曲用弾性体への変位ホルダの嵌着位置を、湾曲用弾性体の軸線方向に非対称に設定したことを特徴とする放射光ミラー装置。
IPC (2件):
G21K 1/06 ,  H05H 13/04
FI (2件):
G21K 1/06 P ,  H05H 13/04 U
Fターム (6件):
2G085AA13 ,  2G085BE03 ,  2G085BE06 ,  2G085CA12 ,  2G085DB02 ,  2G085DB06
引用特許:
出願人引用 (5件)
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