屈折率の修正方法、屈折率の修正装置、及び光導波路デバイス

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲垣清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045121
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311847
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】光導波路デバイスのコア部分の屈折率を高精度で修正してデバイス特性を向上させ、また、長期信頼性のある光導波路デバイスを作製するための、屈折率の修正方法を提供する。【解決手段】本屈折率の修正方法は、光導波路デバイスの屈折率を修正する方法であって、干渉系となっている導波路のコア部分に、Ti:サファイヤレーザから発振される、パルス幅150フェムト秒、パルスエネルギー0. 7μJ、パルス繰り返し周波数200kHz、波長800nmの超短パルスレーザ光3を、20倍の対物レンズ4を用いて光導波路のコアの幅とほぼ同じ5. 5μmの幅で集光し、コアに沿って幾何学長ΔLの長さを0. 1mm/sで走査した。レーザ光を1mm走査した結果、Δλは16. 7nm変化した。また、2mm走査した場合は32. 4nm、以降、走査距離が1mm増えると、Δλは16. 7nm変化していき、ΔnはTEモード、TMモードとも0. 0016変化していることがわかった。

請求項（抜粋）：

光導波路デバイスの屈折率を修正する方法であって、30ピコ秒以下のパルス幅を持つ超短パルスレーザ光を光導波路デバイスのコア部分、及びクラッド部分の少なくとも一方に照射して、照射した部分の屈折率を変化させることを特徴とする屈折率の修正方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 , G02B 5/18

FI (2件)：

G02B 5/18 , G02B 6/12 M

引用特許：

出願人引用 (16件)

光導波路及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-007533 出願人：科学技術振興事業団, 三浦清貴
特開平4-298702
光回路の特性調整方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-091261 出願人：日本電信電話株式会社

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審査官引用 (6件)

特開平4-298702
光導波路及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-007533 出願人：科学技術振興事業団, 三浦清貴
特開平4-298702

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