アンモニアガスの回収方法及び回収装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：鈴江正二 , 木村俊之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-180572
公開番号（公開出願番号）：特開2008-007378
出願日： 2006年06月30日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

【課題】窒化ガリウムをはじめとする半導体関連の処理工程からの排出ガスから高純度のアンモニアを回収できる方法及びその装置を提供する。【解決手段】処理工程から導出された排出ガス中のアンモニアガスを水に溶解させる溶解工程と、アンモニアを溶解させたアンモニア水を蒸留して水とアンモニアガスとを分離する蒸留工程と、分離したアンモニアガスを液化する液化工程とを有するアンモニアガスの回収方法である。処理工程から導出された排出ガスから不純成分を吸着除去し、この不純成分を吸着除去した後の排出ガスを溶解工程に供給する。溶解工程では溶解ステップを反復させてアンモニア濃度を高め、所定濃度のアンモニア水をアンモニア水タンクに貯留する。蒸留工程から導出したアンモニアガスを除湿した後、液化する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理工程から導出された排出ガス中のアンモニアガスを水に溶解させる溶解工程と、アンモニアガスを溶解させたアンモニア水を蒸留して水とアンモニアガスとを分離する蒸留工程と、分離したアンモニアガスを液化する液化工程とを有するアンモニアガスの回収方法において、前記処理工程から導出された排出ガスから不純成分を吸着除去し、この不純成分を吸着除去した後の排出ガスを溶解工程に供給し、前記溶解工程では溶解ステップを反復させてアンモニア濃度を高め、所定濃度に達したアンモニア水をアンモニア水タンクに貯留し、前記蒸留工程から導出したアンモニアガスを除湿した後、液化するようにしたことを特徴とするアンモニアガスの回収方法。

IPC (5件)：

C01C 1/12 , B01D 53/58 , B01D 53/46 , B01D 3/00 , B01D 53/72

FI (6件)：

C01C1/12 A , C01C1/12 B , B01D53/34 131 , B01D53/34 120A , B01D3/00 A , B01D53/34 120D

Fターム (27件)：

4D002AA13 , 4D002AA26 , 4D002AA40 , 4D002AC10 , 4D002BA02 , 4D002BA04 , 4D002CA06 , 4D002CA07 , 4D002DA35 , 4D002EA02 , 4D002EA07 , 4D002EA20 , 4D002FA01 , 4D002HA02 , 4D002HA04 , 4D076AA05 , 4D076AA16 , 4D076AA22 , 4D076BB03 , 4D076DA25 , 4D076FA02 , 4D076FA11 , 4D076FA22 , 4D076FA31 , 4D076FA34 , 4D076HA12 , 4D076JA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

アンモニアガス回収液化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051348 出願人：岩谷産業株式会社

審査官引用 (9件)

特開平4-235713
特開平3-170321
特開昭51-091899

全件表示

前のページに戻る