特許
J-GLOBAL ID：200903075370987977
走査像形成方法および走査像形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-024197
公開番号（公開出願番号）：特開平11-224634
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】チャージアップによるSEM像の不安定化を回避する。【解決手段】電子線2の2次元走査とステージ6の連続移動を所定の条件で併用することで、チャージアップを均一化する。
請求項（抜粋）：
ビームを試料に走査状に照射し、これに伴い上記試料で生じる状態変化を上記ビーム照射位置と対応させながら検出することで上記状態変化を反映した信号の走査像を形成する走査像形成方法において、上記ビームを等間隔LでずらしながらN回走査することを繰り返し、同時に、上記試料を上記ビームの走査位置をずらす方向とは逆向きに速度(L/t)(N-1)/{N(k-1)}(ここでtは上記ビームの1回の走査と振り戻しに要する合計時間,kは2以上の自然数)で連続的に移動させることにより、上記試料上で間隔L(N-1)/{N(k-1)}で上記ビームを走査させて走査像を形成することを特徴とする走査像形成方法。
IPC (3件)：
H01J 37/147
, G01N 23/20
, G01N 23/225
H01J 37/147 B
, G01N 23/20
, G01N 23/225
