特許
J-GLOBAL ID:200903075401034620

タイミング信号発生回路、及び、それを備えた半導体検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 喜平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-271734
公開番号(公開出願番号):特開2002-084186
出願日: 2000年09月07日
公開日(公表日): 2002年03月22日
要約:
【要約】【課題】 フェーズロック状態を保持しつつ、動作中に高分解能で遅延量を変化させることができる技術の提供。【解決手段】 ディレーコードで指定された遅延量だけ入力クロック信号に対して遅延したタイミング信号を出力する可変遅延回路20と、タイミング信号と入力クロック信号との位相差を検出し、検出信号を出力する位相差検出器30と、その検出信号の波形を平滑化した電圧信号を生成し、当該電圧信号を可変遅延回路へ帰還させるループフィルタ40とにより構成された負帰還ループ1を有し、さらに、検出信号のうち、遅延量を変化させたことにより生じた位相差分に相当する部分を相殺するための反転検出信号を、ディレーコードから生成するキャンセル部50としてD/A変換器を備える。
請求項(抜粋):
フェーズロック状態を保持するための負帰還ループを有し、当該負帰還ループを、ディレーコードで指定された遅延量だけ、入力クロック信号に対して遅延したタイミング信号を出力する可変遅延回路と、前記タイミング信号と前記入力クロック信号との位相差を検出し、検出信号を出力する位相差検出器と、前記検出信号の波形を平滑化した電圧信号を生成し、当該電圧信号を前記可変遅延回路へ帰還させるループフィルタとにより構成したタイミング信号発生回路であって、前記検出信号のうち、前記遅延量を変化させたことにより生じた位相差分に相当する部分を相殺するための反転検出信号を前記ディレーコードから生成する、キャンセル部を備えてなることを特徴とするタイミング信号発生回路。
IPC (4件):
H03L 7/081 ,  G01R 31/3183 ,  H03K 5/00 ,  H03K 5/13
FI (4件):
H03K 5/13 ,  H03L 7/08 J ,  G01R 31/28 Q ,  H03K 5/00 S
Fターム (24件):
2G032AA01 ,  2G032AB01 ,  2G032AG01 ,  2G032AL00 ,  5J001AA11 ,  5J001BB21 ,  5J001CC06 ,  5J001DD08 ,  5J001DD09 ,  5J106AA04 ,  5J106CC21 ,  5J106CC41 ,  5J106CC52 ,  5J106CC59 ,  5J106DD08 ,  5J106DD13 ,  5J106DD17 ,  5J106DD35 ,  5J106DD36 ,  5J106GG20 ,  5J106HH10 ,  5J106KK05 ,  5J106KK29 ,  5J106KK32
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 特開平1-287483
  • タイミング信号発生回路
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-102955   出願人:株式会社アドバンテスト
  • クロック合成器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-319364   出願人:エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
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審査官引用 (4件)
  • 特開平1-287483
  • タイミング信号発生回路
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-102955   出願人:株式会社アドバンテスト
  • クロック合成器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-319364   出願人:エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
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