特許
J-GLOBAL ID：200903075426835008
電界放出型冷陰極およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-040845
公開番号（公開出願番号）：特開2004-253201
出願日： 2003年02月19日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】犠牲層などを形成することなく、自己整合的に製造できる電界放出型冷陰極およびその製造方法を提供する。【解決手段】絶縁性基板1上に、エミッタ電極層2を形成し、このエミッタ電極層2上に、孔3aを有する絶縁シート3を配置し、この絶縁シート3上に、ゲート電極となる金属製のメッシュ4をマスク部材として配置し、メッシュ4を介して孔3a内のエミッタ電極層2上に、電子放出層5を、カソーディックアーク法などを用いて自己整合的に形成する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
エミッタ電極層と、
前記エミッタ電極層の表面に形成されかつ該エミッタ電極層の表面を露出させる孔を有する絶縁層と、
開口を有する導電性のマスク部材からなり前記絶縁層によって前記エミッタ電極層から電気的に絶縁されるゲート電極と、
前記絶縁層の前記孔から露出している前記エミッタ電極層の表面に形成された電子放出層と、
を含む、電界放出型冷陰極。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
5C127AA01
, 5C127AA20
, 5C127BA09
, 5C127BA12
, 5C127BA15
, 5C127BB06
, 5C127BB08
, 5C127BB09
, 5C127CC03
, 5C127CC08
, 5C127DD07
, 5C127DD99
, 5C127EE15
, 5C135AA09
, 5C135AA12
, 5C135AA15
, 5C135AB06
, 5C135AB08
, 5C135AB09
, 5C135AC05
, 5C135AC15
, 5C135GG14
, 5C135HH15
