特許
J-GLOBAL ID：200903075442451473

機械加工装置および方法

発明者：
ジェラード、クリストファー、ポール

ジェラード、クリストファー、ポール について


出願人/特許権者：
ウエストウインド エアー ベアリングス リミテッド

ウエストウインド エアー ベアリングス リミテッド について


代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  吉田 裕 ,  岩本 行夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-509025
公開番号（公開出願番号）：特表2005-530623
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
機械加工スピンドルが、工作物の機械加工用第1工具5aを担持するように構成された内側軸110aと、工作物の機械加工用第2工具を担持するように構成された外側軸110bとを含む。これら両軸は、一方が他方の内部に配設され、共通軸線を中心として回転し、かつ、軸線方向に相対移動可能である。また、両軸は、空気軸受によって支持されている。このスピンドルは、シリコンウェーハの長方形チップへのダイス加工に特に適する。
請求項（抜粋）：
工作物の機械加工を行なう第1工具を担持するために配置された内側軸と、工作物の機械加工を行なう第2工具を担持するために配置された外側軸とを含む機械加工スピンドルであり、 前記両軸が、共通軸線を中心として回転可能し、かつ、軸線方向で相対移動できるように配設され、 さらに、前記機械加工スピンドルが主胴を含み、該主胴内で前記両軸が支承されており、 前記内側軸が前記外側軸内に配置され、 前記外側軸が、前記主胴内で空気軸受によって支承され、該空気軸受が、前記内側軸と前記外側軸の間の相対的軸線方向運動を許容するように配設されている機械加工スピンドル。
IPC (4件)：
B23B19/02 ,  B24B41/04 ,  F16C32/06 ,  H01L21/301
FI (5件)：
B23B19/02 B ,  B24B41/04 ,  F16C32/06 Z ,  H01L21/78 F ,  H01L21/78 Q
Fターム (20件)：
3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB07 ,  3C034BB22 ,  3C034BB92 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20 ,  3C045FD15 ,  3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA17 ,  3J102BA18 ,  3J102CA01 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA10 ,  3J102EA22 ,  3J102EA24 ,  3J102GA07
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 加工装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-255315   出願人：豊田工機株式会社, トヨタ自動車株式会社
  • ダブル正面研磨機
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平11-507037   出願人：リチョッピングマシーントゥールズエービー

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